ekusa半導(dǎo)體藥液清洗裝置用加熱器ECN型
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產(chǎn)品名稱:
ekusa半導(dǎo)體藥液清洗裝置用加熱器ECN型
產(chǎn)品型號(hào):
ECN-60P
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
日本ekusa 半導(dǎo)體藥液清洗裝置用加熱器ECN型，適用于半導(dǎo)體化學(xué)清洗設(shè)備的在線使用的化學(xué)加熱器，具有優(yōu)良的可靠性和可維護(hù)性。
ekusa半導(dǎo)體藥液清洗裝置用加熱器ECN型
的詳細(xì)介紹
日本ekusa 半導(dǎo)體藥液清洗裝置用加熱器ECN型
特征：
高純度
● 所有接觸液體的部件均采用 PFA
● 無(wú)雜質(zhì)洗脫
● 使用低溫加熱器防止化學(xué)變質(zhì)
● 暴露于堿性化學(xué)品時(shí)不會(huì)變質(zhì)
可靠性
● *大使用壓力：0.4MPa
● *大使用溫度：標(biāo)準(zhǔn)品為80℃，特殊規(guī)格可制造至120℃
● 內(nèi)置過(guò)熱報(bào)警傳感器
因停電等突然停機(jī)時(shí)，溫度上升約10℃。即使在高溫下也可**使用
●內(nèi)置漏水傳感器
●抵抗流量波動(dòng)和沖擊
維護(hù)：
- 使用低溫加熱器，因此使用壽命幾乎是長(zhǎng)久的，無(wú)需更換加熱器。
- 極其緊湊，因此安裝很容易。
- 可有效利用現(xiàn)有的電氣控制。
產(chǎn)品型號(hào)：ECN-30P、ECN-45P、ECN-60P 、ECN-90P、ECN-120P 、ECN-240P
