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RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗
產品型號: EMF系列
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗 EMF系列,是專為半導體行業(yè)開發(fā)的,用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料,使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。


RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗  的詳細介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/圓晶清洗 EMF系列

規(guī)格:

適用流體:純水、藥液、 空氣、真空
*大壓力 :-0.095~0.6MPa
*大通路:8
*大轉速:250min-1

主要途徑與其特點:

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復數(shù)流體同時流動。
通常應用于CMP設備



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